科研仪器

时间:2023年12月06日
 

光刻机  型号:LEDM-PM8HT-48A

 


自动匀胶机  型号:LG-SGJ06

烘干炉  型号:BTF-1100C-IIIA

加热台  型号:TC500-N2

显影机  型号:MSD-200D

甩干机  型号:FXSR003

氧化炉  型号:LG0F-8

清洗机  型号:JC-LX6-IPV1QZ1PP3QDR


磁控溅射设备  型号:LG-CK002



原子层沉积设备  型号:LG-ALD08


干刻蚀机  型号:LGKS-18


快速退火炉  型号:LG-THL06


超纯水系统


MOCVD系统  型号:CYTEK-GaN

         
变温光致发光测试系统  型号:IHR320

         
高真空半导体薄膜综合沉积系统  型号:SKYCJ-450


山东高校先进半导体探测器国际联合实验室
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